MKY-TZ-1000 離子濺射儀

技術(shù)參數(shù):
1.樣品室空間：直徑120mm×高110mm
2. Pt靶為標(biāo)配，靶材尺寸：φ50mm×0.1mm
3.獨立真空控制電路設(shè)計，實現(xiàn)真空度和濺射電流，互鎖，可調(diào)大電流40mA；
4.侵入式磁控低溫離子源，可快速換靶材，環(huán)繞暗區(qū)護罩；
5.使用獨立計時控制器，計時，可調(diào)設(shè)置范圍:1-500秒，連續(xù)可調(diào)
6.自動真空泄氣功能，自動排氣，可通過數(shù)字定時器進行控制
7.進口真空泵，抽速8.5m3/h，噪聲不大于48dB,可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)
8.微型真空氣閥： 精度微量流量閥，精度±0.1Pa

MKY-TZ-1000 離子濺射儀

技術(shù)參數(shù):
1.樣品室空間：直徑120mm×高110mm
2. Pt靶為標(biāo)配，靶材尺寸：φ50mm×0.1mm
3.獨立真空控制電路設(shè)計，實現(xiàn)真空度和濺射電流，互鎖，可調(diào)大電流40mA；
4.侵入式磁控低溫離子源，可快速換靶材，環(huán)繞暗區(qū)護罩；
5.使用獨立計時控制器，計時，可調(diào)設(shè)置范圍:1-500秒，連續(xù)可調(diào)
6.自動真空泄氣功能，自動排氣，可通過數(shù)字定時器進行控制
7.進口真空泵，抽速8.5m3/h，噪聲不大于48dB,可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)
8.微型真空氣閥： 精度微量流量閥，精度±0.1Pa